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超高纯系统不锈钢316L VCR 垫片过滤器
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更新时间:2024-11-11  |  阅读:262

详情介绍


用于半导体应用的多孔金属垫片过滤器

保护精密气体系统的可靠解决方案:
1) 这款全金属过滤器专为半导体气体分配系统设计,可与 1/4“、3/8" 和 1/2“ VCR 标准垫圈接口无缝兼容。
2) 垫圈式设计确保易于安装,使其成为 MFC(质量流量控制器)模块、精密阀门和压力调节器的重要保护屏障。
3) 多孔金属垫片过滤器能够承受高达 400°C 的温度,有效阻止颗粒侵入,保护敏感气体成分。
4) 通过防止与污染相关的泄漏,延长设备使用寿命并降低维护成本。
5) 该过滤器提供低压和高压两种型号,可改装到现有的管道系统中,为保护精密设备免受污染提供经济高效的解决方案。















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