产品介绍

工艺气体专用过滤器，专为半导体制程中真空腔体快速放气应用进行设计。结合了扩散器的气体流动特性和高效过滤器的颗粒拦截特性，扩散器专用过滤器过滤精度可达0.003μm。全316L不锈钢结构，不仅确保高效过滤，更巧妙的规避了湍流产生，对工艺室环境造成影响，有效防止气流吹起颗粒或者吹起硅片。可定制化设计，灵活适应各类安装空间。

产品特点

▶不锈钢粉末烧结介质，可快速排气

▶整体316L不锈钢结构

▶减少工艺腔体排气时的湍流

▶适用于多种工艺气体

▶洁净室环境内制造、测试、包装

▶100%完整性测试通过

▶100%氦气泄露检测通过

▶耐高温、耐高压、耐腐蚀

▶防止微粒混入，帮助提高产品合格率

▶可根据安装空间进行设计