产品介绍

大流量气体过滤器，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用设计，采用全316L不锈钢精密打造，多柱状或叠盘状介质设计确保高流通量下低阻损，过滤精度高达0.003μm，满足超高纯工艺需求。整体金属构造，是高温动态环境下的理想过滤解决方案

产品特点

▶不锈钢粉末烧结介质，可快速排气

▶整体316L不锈钢结构

▶减少工艺腔体排气时的湍流

▶适用于多种工艺气体

▶洁净室环境内制造、测试、包装

▶100%完整性测试通过

▶100%氦气泄露检测通过

▶耐高温、耐高压、耐腐蚀

▶防止微粒混入，帮助提高产品合格率

▶可根据安装空间进行设计