产品介绍

用于半导体行业集成气体输送与控制系统，兼容C型和W型多种密封规格，实现0.003μm级高效颗粒过滤，保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量，适助力设备升级无忧。全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效

产品特点

▶不锈钢粉末烧结介质，可快速排气

▶整体316L不锈钢结构

▶减少工艺腔体排气时的湍流

▶适用于多种工艺气体

▶洁净室环境内制造、测试、包装

▶100%完整性测试通过

▶100%氦气泄露检测通过

▶耐高温、耐高压、耐腐蚀

▶防止微粒混入，帮助提高产品合格率

▶可根据安装空间进行设计